產(chǎn)品用途：

產(chǎn)品性：

PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng)，很容易發(fā)生反應(yīng)，在基片上沉積出所期望的薄膜。

產(chǎn)品組成：

PECVD系統(tǒng)配置：

1.1200度開(kāi)啟式雙溫區(qū)真空管式爐

2.等離子射頻電源

3.多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4.真空系統(tǒng)（可選配中真空或高真空）  

產(chǎn)品特點(diǎn)：

生長(zhǎng)溫度低；沉積速率快；成膜質(zhì)量好，適用范圍廣，設(shè)備簡(jiǎn)單。

天津中環(huán)電爐股份有限公司立于1993年，2015年公司進(jìn)行股份制改造，更名為天津中環(huán)電爐股份有限公司。公司集研發(fā)、制造、營(yíng)銷(xiāo)能力于一身，為眾多科研院所、大學(xué)提供實(shí)驗(yàn)室電爐系統(tǒng)及服務(wù)并深受用戶(hù)肯定；以北大、清華、中科院各院所等為代表的客戶(hù)群體已經(jīng)超過(guò)一千家，并為客戶(hù)完成科研項(xiàng)目做出了自己的貢獻(xiàn)。截至到目前，公司已經(jīng)成功研發(fā)出深受用戶(hù)肯定的21個(gè)系列260多個(gè)品種的產(chǎn)品，同時(shí)公司的研發(fā)團(tuán)隊(duì)已具備為客戶(hù)量身打造特殊需求的實(shí)驗(yàn)室電爐系統(tǒng)的能力。二十多年以來(lái)，公司的品牌在客戶(hù)的口碑中得以不斷的成長(zhǎng)，同時(shí)在政府的扶植下取得了可喜的榮譽(yù)。